測量顯微鏡早在公元前一世紀，人們就已發(fā)現通過(guò)球形透明物體去觀(guān)察微小物體時(shí)，可以使其放大成像。后來(lái)逐漸對球形玻璃表面能使物體放大成像的規律有了認識。

1590年，荷蘭和意大利的眼鏡制造者已經(jīng)造出類(lèi)似顯微鏡的放大儀器。

1610年前后，意大利的伽利略和德國的開(kāi)普勒在研究望遠鏡的同時(shí)，改變物鏡和目鏡之間的距離，得出合理的顯微鏡光路結構，當時(shí)的光學(xué)工匠遂紛紛從事顯微鏡的制造、推廣和改進(jìn)。

17世紀中葉，英國的胡克和荷蘭的列文胡克，都對顯微鏡的發(fā)展作出了貢獻。

1665年前后，胡克在顯微鏡中加入粗動(dòng)和微動(dòng)調焦機構、照明系統和承載標本片的工作臺。這些部件經(jīng)過(guò)不斷改進(jìn)，成為現代顯微鏡的基本組成部分。

1673～1677年期間，列文胡克制成單組元放大鏡式的高倍顯微鏡，其中九臺保存至今。胡克和列文胡克利用自制的顯微鏡，在動(dòng)、植物機體微觀(guān)結構的研究方面取得了杰出成就。

19世紀，高質(zhì)量消色差浸液物鏡的出現，使顯微鏡觀(guān)察微細結構的能力大為提高。

1827年阿米奇第一個(gè)采用了浸液物鏡。

19世紀70年代，德國人阿貝奠定了顯微鏡成像的古典理論基礎。這些都促進(jìn)了顯微鏡制造和顯微觀(guān)察技術(shù)的迅速發(fā)展，并為19世紀后半葉包括科赫、巴斯德等在內的生物學(xué)家和醫學(xué)家發(fā)現細菌和微生物提供了有力的工具。 在顯微鏡本身結構發(fā)展的同時(shí)，

顯微觀(guān)察技術(shù)也在不斷創(chuàng )新：

1850年出現了偏光顯微術(shù)；

1893年出現了干涉顯微術(shù)；

1935年荷蘭物理學(xué)家澤爾尼克創(chuàng )造了相襯顯微術(shù)，他為此在1953年獲得了諾貝爾物理學(xué)獎。 古典的光學(xué)顯微鏡只是光學(xué)元件和精密機械元件的組合，它以人眼作為接收器來(lái)觀(guān)察放大的像。后來(lái)在顯微鏡中加入了攝影裝置，以感光膠片作為可以記錄和存儲的接收器。現代又普遍采用光電元件、電視攝像管和電荷耦合器等作為顯微鏡的接收器，配以微型電子計算機后構成完整的圖像信息采集和處理系統。